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MEMS微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)的研制

時(shí)間:2024-08-12 17:06:20 通信工程畢業(yè)論文 我要投稿
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MEMS微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)的研制

全部作者: 唐彬 溫志渝 溫中泉 何渝 第1作者單位: 重慶大學(xué)光電工程學(xué)院微系統(tǒng)研究中心 論文摘要: 機(jī)械能是環(huán)境里最為廣泛的能源之1,振動(dòng)式發(fā)電機(jī)通過拾振裝置將外部的振動(dòng)機(jī)械能轉(zhuǎn)換成電能,可以應(yīng)用于各中存在微振動(dòng)的環(huán)境中。本文研究了MEMS微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)的制作過程。對(duì)核心材料駐極體進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究;對(duì)靜電式微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)進(jìn)行封裝實(shí)驗(yàn),;對(duì)封裝好的發(fā)電機(jī)進(jìn)行了測試;分析總結(jié)了在發(fā)電機(jī)制備過程中出現(xiàn)的問題,進(jìn)1步改進(jìn)和完善了微型發(fā)電機(jī)系統(tǒng),輸出電壓達(dá)115mV。 關(guān)鍵詞: MEMS 發(fā)電機(jī) 駐極體 封裝 測試 (瀏覽全文) 發(fā)表日期: 2008年04月21日 同行評(píng)議:

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綜合評(píng)價(jià): (暫時(shí)沒有) 修改稿:

【MEMS微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)的研制】相關(guān)文章:

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